ULPA فلٹر کیا ہے؟ یہ HEPA سے کیسے مختلف ہے اور ہر ایک کہاں سے تعلق رکھتا ہے۔

EN 1822 کے تحت ایک HEPA فلٹر عام طور پر H13 یا H14 کا حوالہ دیتا ہے۔ ULPA فلٹر سے مراد U15، U16، یا U17 ہے۔ H14 سے U15 تک چھلانگ کاغذ پر چھوٹی نظر آتی ہے، لیکن دخول کے لحاظ سے یہ ایک بڑا قدم ہے۔ H14 0.005% کی زیادہ سے زیادہ مجموعی رسائی کی اجازت دیتا ہے، جبکہ U15 اسے 0.0005% تک کم کر دیتا ہے۔ یہ قابل اجازت رسائی میں 10× کمی ہے۔

یہ پہلی چیز ہے جسے خریداروں کو یاد رکھنا چاہئے:

•H14=HEPA

•U15-U17=ULPA

•ٹیسٹ کی بنیاد MPPS ہے، نہ صرف ایک سادہ 0.3 μm مارکیٹنگ سٹیٹمنٹ

اعلی کارکردگی کا مطلب عام طور پر سخت آلودگی کنٹرول ہے، لیکن ہوا کے بہاؤ کے ڈیزائن اور پریشر ڈراپ کے لیے نظام کی زیادہ حساسیت بھی

EN 1822 کارکردگی کی کلاسیں۔

EN 1822 کے تحت، عام طور پر حوالہ دیا جانے والی اعلی- کارکردگی کی کلاسیں ہیں:

•H13: مجموعی کارکردگی 99.95% سے زیادہ یا اس کے برابر

•H14: مجموعی کارکردگی 99.995% سے زیادہ یا اس کے برابر

•U15: مجموعی کارکردگی 99.9995% سے زیادہ یا اس کے برابر

•U16: مجموعی کارکردگی 99.99995% سے زیادہ یا اس کے برابر

•U17: مجموعی کارکردگی 99.999995% سے زیادہ یا اس کے برابر

اسی کلاس ٹیبل میں مقامی کارکردگی/دخول کی حدیں بھی شامل ہوتی ہیں، جو اس وقت اہمیت رکھتی ہے جب لیک اسکیننگ قبولیت کی ضرورت کا حصہ ہو۔

یہیں سے کنفیوژن شروع ہوتی ہے۔

مارکیٹ میں، بہت سے ULPA ڈیٹا شیٹس اب بھی کارکردگی کو 0.12 μm پر 99.9995% کے طور پر بیان کرتی ہیں۔ AAF پروڈکٹ لٹریچر یہ براہ راست ULPA ماڈیولز اور باکس فلٹرز کے لیے کرتا ہے۔ یہ الفاظ اب بھی بہت سے انجینئرز کے لیے عام اور واقف ہیں۔ لیکن EN 1822/ISO 29463 کے تحت باقاعدہ درجہ بندی کی منطق MPPS ٹیسٹنگ پر مبنی ہے۔ اس کا مطلب ہے کہ مصنوعات کا موازنہ کرنے کا سب سے محفوظ طریقہ یہ ہے:

•پہلے کلاس چیک کریں: H14, U15, U16, U17

• ٹیسٹ کے معیار کی تصدیق کریں: EN 1822 / ISO 29463

•پھر اس بات کا جائزہ لیں کہ فراہم کنندہ ڈیٹا شیٹ میں ناپی گئی کارکردگی کو کس طرح بیان کرتا ہے۔

U15 جمپ کا اصل مطلب کیا ہے۔

ہمارے انجینئر اکثر خریداروں کا علاج کرتے نظر آتے ہیں۔U15جیسا کہ "H14 سے تھوڑا بہتر ہے۔" یہ اس سے بہتر ہے۔ قابل اجازت کل دخول ایک اعشاریہ مقام سے گرتا ہے۔ کلین روم کی شرائط میں، یہ اس وقت اہمیت رکھتا ہے جب عمل پہلے سے ہی خرابی کی سطح پر لڑ رہا ہو، نہ کہ صرف کمرے کے-آرام کی سطح پر۔

صحت کی دیکھ بھال اور آپریٹنگ رومز: ہدف انفیکشن کنٹرول ہے، نہ کہ ویفر کی پیداوار

صحت کی دیکھ بھال کے ڈیزائن میں، بنیادی تشویش ہوا سے پیدا ہونے والے متعدی خطرے، سرجیکل-سائٹ کی آلودگی، دباؤ کے تعلقات، اور نازک زون میں صاف ہوا کے بہاؤ کو کنٹرول کرنا ہے۔ ASHRAE کی صحت کی دیکھ بھال کی رہنمائی کہتی ہے۔HEPA فلٹرز معیاری 170 کے مطابق صرف حفاظتی-ماحولیاتی کمروں کے لیے درکار ہیں، ہر صحت کی دیکھ بھال کی جگہ پر نہیں۔ آپریٹنگ کمروں کے لیے، سپلائی ڈفیوزر اری، ایئر فلو پیٹرن، اور کمرے کے دباؤ پر زور دیا جاتا ہے۔ یہی وجہ ہے کہ عام طور پر صحت کی دیکھ بھال کی بات چیت کا مرکز ہوتا ہے۔HEPA، ULPA نہیں۔

صحت کی دیکھ بھال کی مصنوعات ہیں جو اختیاری ULPA کارکردگی پیش کرتی ہیں۔ کیمفل کے آپریٹنگ-تھیٹر وینٹیلیشن لٹریچر میں کچھ سسٹمز کے لیے اختیاری ULPA فلٹرز کا ذکر ہے۔ لیکن یہ وسیع تر اصول کو تبدیل نہیں کرتا ہے:صحت کی دیکھ بھال کا معیاری بینچ مارک HEPA-گریڈ فلٹریشن ہے۔، جبکہ ULPA ایک خاص معاملہ ہے، پہلے سے طے شدہ جواب نہیں۔

سیمی کنڈکٹر کلین روم مختلف ہیں۔ کیمفل کی سیمی کنڈکٹر گائیڈنس میں آئی ایس او کلاس 1 پارٹیکل لیولز کو نشانہ بنانے والے فیبس کی وضاحت کی گئی ہے اور ساتھ ہی ہوا سے چلنے والی مالیکیولر آلودگی (AMC) پر سخت کنٹرول ہے۔ یہ HEPA اور ULPA فلٹرز کے استعمال کو بھی نمایاں کرتا ہے جیسے کہ لتھوگرافی، ایچ، ڈفیوژن، میٹالائزیشن، آئن امپلانٹیشن، معائنہ کے اوزار، اور ریٹیکل یا ویفر اسٹوریج۔ MANN+HUMMEL H14 سے U17 عناصر کا استعمال کرتے ہوئے کلین رومز کے لیے FFU سسٹمز کی بھی وضاحت کرتا ہے۔

یہی وجہ ہے کہ سیمی کنڈکٹر خریدار اکثر HEPA سے ULPA میں منتقل ہوتے ہیں:

• اہم ذرہ سائز چھوٹے ہیں

پیداوار کا نقصان براہ راست نانوسکل آلودگی سے منسلک ہے۔

•ٹولز اور چھوٹے-ماحول کو اکثر ارد گرد کے فیب سے زیادہ سخت کنٹرول کی ضرورت ہوتی ہے

ہوا سے چلنے والی سالماتی آلودگی ذرات کے ساتھ ساتھ اہمیت رکھتی ہے۔

سادہ اصول:
•اگر کمرہ مریض اور عملے کے کام کے بہاؤ کی حفاظت کر رہا ہے، تو HEPA عام طور پر حوالہ جاتی ہے۔
•اگر کمرہ ویفر، ماسک، ریٹیکل، یا جدید پروسیس ٹول کی حفاظت کر رہا ہے، تو ULPA بہت زیادہ عام ہو جاتا ہے۔

نہیں خود بخود نہیں۔

کاغذ پر ایک بہتر فلٹر ہمیشہ فیلڈ میں انجینئرنگ کا بہتر انتخاب نہیں ہوتا ہے۔

خریداروں کو بھی موازنہ کرنا چاہئے:

•ابتدائی مزاحمت

• قابل اجازت حتمی پریشر ڈراپ

•پنکھے کی صلاحیت اور توانائی کی قیمت

• ہوا کے بہاؤ کی یکسانیت

سیلنگ اور اسکین-ٹیسٹ کی ضروریات

گیس سے باہر نکلنے والا رویہ

اگر فلٹر تیزی سے بند ہوجاتا ہے یا ایئر سسٹم کو دوبارہ ڈیزائن کرنے پر مجبور کرتا ہے تو درخواست کا خطرہ

ہمارے انجینئر اکثر ULPA کو مخصوص کرتے ہوئے دیکھتے ہیں جہاں H14 نے نظام کی کم مزاحمت اور کم آپریٹنگ لاگت کے ساتھ حقیقی عمل کی ضرورت کو پورا کیا ہوگا۔ اس کے برعکس غلطی بھی ہوتی ہے: HEPA کو سیمی کنڈکٹر یا مائیکرو الیکٹرانکس RFQ میں صرف اس لیے نقل کیا جاتا ہے کہ یہ زیادہ مانوس اصطلاح ہے۔ نہ ہی شارٹ کٹ اچھی خریداری کی مشق ہے۔

یہ نکتہ ہر وقت نظر انداز ہو جاتا ہے۔

سیمی کنڈکٹر اور مائیکرو الیکٹرانکس ماحول میں، مسئلہ صرف ذرات کا نہیں ہے۔ یہ فلٹر ہی سے مالیکیولر ریلیز بھی ہے۔ کیمفل کا کہنا ہے کہ اس کے سیمی کنڈکٹر پری فلٹر رینج کو بوران کو جاری کیے بغیر HEPA فلٹرز کی حفاظت کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، اور سیمی کنڈکٹر کے استعمال کے لیے اس کے HEPA/ULPA پروڈکٹس کو بہت کم آؤٹ گیسنگ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ AAF مائیکرو الیکٹرانکس کی طرف سے بھی یہی بات کرتا ہے، یہ بتاتے ہوئے کہ بوران-مفت اور کیمیکل طور پر غیر فعال فلٹر میڈیا کی حد بند-گیس جو مائیکرو الیکٹرانکس کو نقصان پہنچا سکتی ہے۔ Hollingsworth & Vose اپنے کم- بوران مائکرو گلاس میڈیا کو بھی بیان کرتا ہے جیسا کہ سیمی کنڈکٹر فیب کلین رومز کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں، ٹریس آلودگی نظریاتی نہیں ہے۔ ہوا سے چلنے والی مالیکیولر آلودگی اور کیمیائی باقیات ویفر کی سطحوں، آپٹکس اور پراسیس ٹولز کو متاثر کر سکتے ہیں۔ کیمفل واضح طور پر نوٹ کرتا ہے کہ غیر مطلوبہ رد عمل جس میں تیزاب، اڈے، نامیاتی، ریفریکٹریز، اورڈوپینٹسنقائص پیدا کر سکتے ہیں اور سامان کی کارکردگی کو کم کر سکتے ہیں۔ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں بوران ایک ڈوپینٹ عنصر ہے، لہذا ہوا کے راستے میں مواد سے بوران کا بے قابو ہونا بالکل اسی قسم کی چیز ہے جس سے بچنے کی کوشش کرتے ہیں۔

یہی وجہ ہے کہ الیکٹرانکس میں خریدار اکثر پوچھتے ہیں:

•کم-بورانمیڈیا

•کم-آؤٹ گیسنگچپکنے والی اشیاء اور اجزاء

•ULPA یا اعلی-اینڈ HEPA/ULPA ماڈیولز خاص طور پر مائیکرو الیکٹرانکس کے لیے بنائے گئے ہیں

• کلین روم فلٹرز لیتھوگرافی، اینچ، پتلی فلم، یا معائنہ کے آلے کے ماحول سے مماثل ہیں

یہ ضروری ہے۔ کم-بوران فلٹر میڈیا ہر کلین روم میں ضروری نہیں ہے۔

یہ اہم ہو جاتا ہے جب:

عمل سیمی کنڈکٹر یا مائیکرو الیکٹرانکس ہے۔

خریدار AMC اور میٹریل آؤٹ گیسنگ کا انتظام کر رہا ہے۔

فیب یا ٹول میکر کیمیائی صفائی پر سخت چشمی رکھتا ہے۔

ٹریس آلودگی کی قیمت بہت زیادہ ہے

بہت سے فارماسیوٹیکل، ہسپتال، یا معیاری صنعتی کلین رومز کے لیے، یہ ضرورت کبھی بھی RFQ میں ظاہر نہیں ہو سکتی۔

1. معیار کی جانچ کیے بغیر 0.3 μm پر HEPA کا 0.12 μm پر ULPA سے موازنہ کرنا

یہ سیب-سے{-کا موازنہ ہے جب تک کہ آپ بیان کردہ ٹیسٹ کی بنیاد اور کلاس کی تصدیق نہ کریں۔ EN 1822 / ISO 29463 درجہ بندی MPPS کے ارد گرد بنائی گئی ہے۔

2. ULPA کی وضاحت کرنا کیونکہ یہ "محفوظ لگتا ہے"

اعلی کارکردگی مفت اپ گریڈ نہیں ہے اگر سسٹم پریشر ڈراپ کو جذب نہیں کرسکتا ہے یا اگر عمل کو اس کی ضرورت نہیں ہے۔

3. الیکٹرانکس میں آؤٹ گیسنگ اور کیمیائی صفائی کو نظر انداز کرنا

سیمی کنڈکٹر ایپلی کیشنز میں، فلٹر کا اپنا مواد اہمیت رکھتا ہے۔ کم-بوران اور کم-آؤٹ گیسنگ کی تعمیر اتنی ہی اہم ہو سکتی ہے جتنی کہ کارکردگی کی کلاس۔

4. بغیر کلاس کے RFQ میں "ULPA فلٹر" لکھنا

ایک سنجیدہ RFQ کہنا چاہیے۔U15، U16، یا U17نیز ٹیسٹ کا معیار اور سائز۔